半导体超精密加工技术与智能装备山西省重点实验室立足国家第三代半导体发展战略与山西省新材料产业布局，围绕第三代半导体、先进显示材料以及硬脆材料超精密加工与智能装备开展基础理论、关键技术与工程化应用研究。实验室立足科技前沿，服务国家战略需求，围绕实验室的基本研究目标，结合学科发展的需要，在巩固和发展原有学科特色的基础上，重点开展一批基础性、前沿性、与经济建设和国家安全密切相关的战略性交叉研究课题。

根据《中北大学重点实验室开放研究基金管理办法（试行）》（校科〔2014〕37号）及《半导体超精密加工技术与智能装备山西省重点实验室开放基金管理办法》的规定，现发布半导体超精密加工技术与智能装备山西省重点实验室2026年度开放研究基金申请指南，欢迎国内外相关领域科研人员积极申报。

一、开放基金课题申请人资格

国内外相关研究领域科研人员（具有相关学科博士学位或副高及以上专业技术职称）可申请实验室开放基金，申请人原则上年龄不超过45周岁，主持有本实验室开放研究基金项目且未通过结题验收的人员不得申报。

二、开放基金课题资助方向

围绕实验室研究方向，征集基础探索、工艺研发、装备开发类课题，鼓励学科交叉创新，2026年度实验室开放基金拟资助的重点研究方向：

1、超精密加工理论与装备制造

2、多能场复合加工理论与技术

3、半导体产业链核心装备及零部件

4、产线AI+智造基础理论与应用

三、开放基金课题申请

1、按照“半导体超精密加工技术与智能装备山西省重点实验室开放基金课题申请书”（附件1）格式申报，经所在单位同意并签字盖章后，向本实验室提出申请，电子稿发送至邮箱songtjarvin@nuc.edu.cn，纸质版一式三份提交至半导体超精密加工技术与智能装备山西省重点实验室（山西省太原市尖草坪区学院路3号中北大学）。

2、实验室组织专家对申请书进行评审，确定资助项目，通知获得资助的申请人签订项目计划任务书。

四、开放基金课题管理

1、基金资助项目的研究年限为2年，资助额度2-4万元/项，资助数量4-8项，具体资助额度和项目数量根据专家评审建议决定。

2、项目由重点实验室管理，项目负责人全面负责基金项目的实施，负责人应于每年提交年度执行情况报告，并填写下年度研究计划表。

3、经费的使用须由实验室审核，实验室主任和项目负责人双方签字后方可报销。

4、项目实施中期，需在重点实验室学术交流会上做学术报告。

5、项目结题需提交结题报告，同时要求发表与课题相关的SCI学术论文，数量不少于2篇，其中满足《中北大学学术论文类别认定办法》规定中A2类及以上论文至少1篇。

6、项目结题，由重点实验室组织专家进行答辩评审。

五、申报受理时间与要求

1、课题申请书受理截止日期为2026年10月16日，一式三份，同时提交电子版申请书（邮箱：songtjarvin@nuc.edu.cn）。

2、项目执行周期：2026年10月至2028年9月。

六、申请书格式与成果署名要求

1、格式要求参见《半导体超精密加工技术与智能装备山西省重点实验室开放基金课题申请书》。

2、成果署名要求：开放课题相关的论文和研究成果的第一单位为半导体超精密加工技术与智能装备山西省重点实验室，论文和研究成果的作者须署名本实验室固定研究人员。

3、中文署名：“中北大学半导体超精密加工技术与智能装备山西省重点实验室，太原，030051”；英文应标注“Shanxi Key Laboratory of Semiconductor Ultraprecision Machining Technology and Intelligent Equipment, North University of China, Taiyuan 030051, Shanxi, China.”

4、基金标注要求：论文和研究成果中应标注“山西省重点实验室建设计划项目资助（编号：202504010932044）”或“Supported by Shanxi Key Laboratory Construction Plan Project (No. 202504010932044)”以及“半导体超精密加工技术与智能装备山西省重点实验室开放基金资助（课题编号）”或“Supported by the Opening Foundation of Shanxi Key Laboratory of Semiconductor Ultraprecision Machining Technology and Intelligent Equipment (No. XXXX)”，未标注的论文和研究成果，验收时不计入项目结题支撑材料。

六、联系人和联系方法

有意申报者请于2026年10月16日前将申报材料递交到半导体超精密加工技术与智能装备山西省重点实验室（山西省太原市学院路3号中北大学），联系方式如下：

联系人：宋天骄

邮箱：songtjarvin@nuc.edu.cn

电话：15525035460

半导体超精密加工技术与智能装备山西省重点实验室

2026年9月30日